TCO-Schichten mit dem Laser strukturieren

Laserstrukturierung leitfähiger TCO (Transparent Conductive Oxide) Beschichtungen auf Glassubstraten zur Herstellung feinster Strukturen

Für TCO Beschichtungen wird z.B. Indium-Zinnoxid ITO verwendet. Es lässt sich als leitfähige und lichtdurchlässige Beschichtung auf Glas oder Kunststoff aufbringen. Dafür wird gewöhlich eine sehr dünne ITO Schicht auf ein Glassubstrat aufgebracht. ITO Glas kommt beispielsweise in der hochwertigen Display- und Touch-Screen Technologie zum Einsatz.

Durch die Mikrostrukturierung werden äußerst feine und optisch transparente elektrische Anwendungen auf der Glasoberfläche realisiert. ITO Beschichtungen werden außerdem für transparente Elektroden, Objektträger, Hochfrequenzabschirmung, optisch durchlässiges Heizglas, Elektrolumineszenzanzeigen, Wärmeschutzverglasung, unsichtbare Antennen, unsichtbare Solarelemente, jeder Art beheizbarer und lichtdurchlässiger Vorrichtungen und vieles mehr eingesetzt. 

Das Prozessprinzip

Mit einem Laser werden feinste Isolierungen in die TCO Schicht strukturiert. Die hierbei entstehenden Kanäle können beliebige Abmessungen und Geometrien haben. Isolierende Strukturen < 50µm können unsichtbar auf dem transparenten Trägermaterial realisiert werden.