Wandungen und Auswerferstifte
Die Positionierung der Auswerferstifte darf nicht zu Schäden an den Leiterbahnen führen.
Um Ablagerungen von Ablationsprodukten oder Fremdabscheidung auf der Wandung zu reduzieren, dürfen die zu aktivierenden Bereiche nicht unmittelbar an Wandungen angrenzen. Bei einer Wandneigung 45° sollte der Abstand ≥150 µm betragen, bei einer steileren Wandneigung von zum Beispiel 70° sollte der Abstand auf ≥250 µm erhöht werden. Auch für Auswerferstifte muss ein ausreichender Abstand zu den Leiterbahnen eingeplant werden. Andernfalls ist hier mit einer möglichen Verjüngung oder sogar Unterbrechung durch Rissbildung bzw. Schattenwirkung zu rechnen.
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